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2017年10月28日 (土)

認識システムの最先端 第6回 ②

続き :

ナノメートル精度の3次元計測

 前回の計測例に上げたプロジェクタを用いた計測法では、反射の弱い物体の3次元計測は比較的容易であるが、鏡面反射を持つ物体や白光・黒光りのある物体の計測は困難である。

 我々が開発したレーザ光による干渉縞を用いたデジタルホログラフィ顕微鏡では、鏡面あるいは透明物体を nm (ナノメートル)オーダーで3次元計測が可能である。

 約 0.08s の計測時間で7 nm 精度を達成している。対物レンズを用いることで、マイクロチップや Si 基板の凹凸のようなミクロン(μm)単位の微小な構造物体も計測可能である。

 さらに、ワンショット計測が可能なため、防振台・除振台などの特殊な計測環境を必要としない利点がある。



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